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日立金屬投資(中國)有限公司

Materials Mag!c

Hitachi

素形材-質量流量控制器

質量流量控制器
SAM™・Aera™

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我們成立了咨詢中心,同時,開始受理維修服務。
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垂詢電話:0755-86006828 ext: 885
垂詢郵箱:service@hmsz.hitachi-metals.com
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日立金屬投資(中國)有限公司
(日立金屬精密儀器(深圳)有限公司 内)

概要

質量流量控制器是在半導體生産線中的成膜、蝕刻等供氣系統中緊密控制氣體流量的裝置。本公司的産品在閥門上搭載使用自己開發的Ni-Co合金的波形隔膜,對于流體接觸的所有部分采用了金屬密封的潔淨結構,結合各種用途備齊了豐富的産品系列。今後,我們也将為應對不斷發展進步的半導體工藝的要求,推出高性能數字質量流量控制器,為半導體的制造技術的發展做貢獻。


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